Вольфрам гексафлорид (WF6) CVD процессы аша вафин өслегенә урнаштырыла, металл үзара окопларны тутыра һәм катламнар арасында металл үзара бәйләнеш формалаштыра.
Башта плазма турында сөйләшик.Плазма - ирекле электроннар һәм корылма ионнарыннан торган матдә формасы.Ул галәмдә киң таралган һәм еш материянең дүртенче хәле булып санала.Ул плазма торышы дип атала, шулай ук "Плазма".Плазма югары электр үткәрүчәнлегенә ия һәм электромагнит кыры белән көчле кушылу эффектына ия.Бу өлешчә ионлаштырылган газ, электроннар, ионнар, ирекле радикаллар, нейтраль кисәкчәләр һәм фотоннардан тора.Плазма үзе - физик һәм химик актив кисәкчәләрне үз эченә алган электр нейтраль катнашмасы.
Туры аңлату - югары энергия ярдәмендә молекула ван дер Вальс көчен, химик бәйләнеш көчен һәм Куломб көчен җиңәчәк, һәм тулаем алганда нейтраль электр формасын тәкъдим итә.Шул ук вакытта, тышкы яктан бирелгән югары энергия югарыдагы өч көчне җиңә.Функция, электроннар һәм ионнар ирекле халәтне күрсәтәләр, ул ярымүткәргеч эшкәртү процессы, CVD процессы, PVD һәм IMP процессы кебек магнит кыры модуляциясе астында ясалма рәвештә кулланыла ала.
Нәрсә ул югары энергия?Теория буенча, югары температура да, югары ешлыклы RF да кулланырга мөмкин.Гомумән алганда, югары температурага ирешү мөмкин түгел диярлек.Бу температура таләбе бик югары һәм кояш температурасына якын булырга мөмкин.Бу процесста ирешү мөмкин түгел.Шуңа күрә, тармак аңа ирешү өчен гадәттә югары ешлыктагы RF куллана.Плазмалы RF 13МГц + га кадәр җитә ала.
Вольфрам гексафлуорид электр кыры астында плазмалаштырыла, аннары парны магнит кыры белән урнаштыралар.В атомнары кышкы каз каурыйларына охшаш һәм тарту көче астында җиргә егылалар.Акрынлап, W атомнары тишекләргә кертелә, һәм ниһаять, металл үзара бәйләнеш формалаштыру өчен тишекләр аша тулы тутырыла.В атомнарын тишекләр аша урнаштырудан тыш, алар Вафер өслегенә дә урнаштырылырлармы?Әйе, әлбәттә.Гомумән алганда, сез W-CMP процессын куллана аласыз, без аны бетерү өчен механик тарту процессы дип атыйбыз.Көчле кардан соң идәнне сөртү өчен кәләпүш куллануга охшаган.Groundирдәге кар юкка чыга, ләкин җирдәге тишектәге кар калачак.Түбән, якынча бер үк.
Пост вакыты: 24-2021 декабрь
