Тунгштен Хексафлюорид (WF6) металл үзара бәйләнеш окопларын тутырып, катламнар арасындагы металл интернизация формалаштырган.
Плазма турында сөйләшик. Плазма - матдәләр формасы, нигездә, бушлай электроннардан тора. Бу галәмдә киң таралган һәм еш кына дүртенче халәт дип санала. Ул Плазма штаты дип атала, шулай ук "плазма" дип атала. Плазманың югары электр үткәрүчәнлеге бар, электромагнит кыры белән көчле типлау эффекты бар. Бу өлешчә ионлаштырылган газ, электроннар, ион, ирекле радикаллар, нейтраль кисәкчәләр, фотоннар. Плазма үзе физик һәм химик актив кисәкчәләр булган электраль нейтраль катнашма.
Туры аңлатма - югары энергияле булган молекула вагон валларын көчләү, химик бәйләнеш көче һәм капом көчен җиңәчәк, һәм тулаем алганда нейтраль электр энергиясен тәкъдим итәчәк. Шул ук вакытта, тышкы энергия өстендә булган югары энергия югарыдагы өч көчне җиңә. Функция, электроннар һәм ионнар бушлай дәүләт тәкъдим итә, алар магнит кыры модуле астында ясап, ярымүткәргеч эш процессы, PVD һәм IMP процессы кебек.
Зур энергия нинди? Теориядә югары температура да, югары ешлык rf rf кулланылырга мөмкин. Гомумән алганда, югары температура ирешү мөмкин түгел диярлек. Бу температура таләбе бик югары һәм кояшның температурасына якын булырга мөмкин. Процесска ирешү мөмкин түгел. Шуңа күрә тармак гадәттә аңа ирешү өчен югары ешлыкны куллана. Плазма ур РФ 13 яшькә кадәр биеклеккә ирешә ала.
Тунгштен Хексафлюорид электр кыры хәрәкәте нигезендә плазмацияләнгән, аннары магнит кыры белән парлап. W атомнары кышкы каз шәфкатьлеләргә охшаган һәм тарту көче астында җиргә егыла. Акрын гына, в атом тишекләр аша куелган, һәм ниһаять, металл интеркаркаларны формалаштыру өчен тишекләр аша тулган. Тишекләр аша W атомнарын саклап калудан тыш, алар шулай ук вафу өслегенә салылырлармы? Әйе, әлбәттә. Гомумән алганда, сез W-CMP процессын куллана аласыз, алар аны бетерү өчен механик тарту процессы дип атыйлар. Бу каты кардан соң идәнне сөртү өчен кәләпүш куллануга охшаган. Groundирдәге кар читкә алып кителә, ләкин җирдәге тишектә кар калачак. Түбән, якынча бер үк.
Пост вакыты: 24-2021 декабрь
