Вольфрам гексафториды (WF6) пластина өслегенә CVD процессы аша утыртыла, металл тоташтыру траншеяларын тутыра һәм катламнар арасында металл тоташуны формалаштыра.
Әйдәгез, башта плазма турында сөйләшик. Плазма - нигездә ирекле электроннардан һәм зарядлы ионнардан торган матдә формасы. Ул Галәмдә киң таралган һәм еш кына матдәнең дүртенче халәте дип санала. Ул плазма халәте дип атала, шулай ук "Плазма" дип тә атала. Плазма югары электр үткәрүчәнлегенә ия һәм электромагнит кыр белән көчле бәйләнеш эффектына ия. Ул электроннардан, ионнардан, ирекле радикаллардан, нейтраль кисәкчәләрдән һәм фотоннардан торган өлешчә ионлаштырылган газ. Плазма үзе - физик һәм химик яктан актив кисәкчәләрне үз эченә алган электр нейтраль катнашма.
Гади аңлатма шунда: югары энергия тәэсирендә молекула ван-дер-Ваальс көчен, химик бәйләнеш көчен һәм Кулон көчен җиңәчәк һәм гомумән нейтраль электр формасын күрсәтәчәк. Шул ук вакытта, тышкы яктан бирелгән югары энергия югарыдагы өч көчне җиңә. Функция, электроннар һәм ионнар ирекле халәттә булалар, аларны магнит кыры модуляциясе астында ясалма рәвештә кулланырга мөмкин, мәсәлән, ярымүткәргечләрне эшкәртү процессы, CVD процессы, PVD һәм IMP процессы.
Югары энергия нәрсә ул? Теория буенча, югары температура һәм югары ешлыклы радиоешлыклар кулланылырга мөмкин. Гомумән алганда, югары температурага ирешү мөмкин түгел диярлек. Бу температура таләбе бик югары һәм кояш температурасына якын булырга мөмкин. Моңа процесс барышында ирешү мөмкин түгел. Шуңа күрә сәнәгать гадәттә югары ешлыклы радиоешлыклар куллана. Плазма радиоешлыгы 13 МГц+ кадәр җитәргә мөмкин.
Вольфрам гексафториды электр кыры тәэсирендә плазмалаштырыла, аннары магнит кыры белән парга әйләнә. W атомнары кышкы каз каурыйларына охшаган һәм гравитация тәэсирендә җиргә төшә. W атомнары әкренләп тишекләргә урнаштырыла һәм ахыр чиктә металл тоташулар барлыкка китерү өчен тулы тишекләр белән тутырыла. W атомнарын тишекләргә урнаштырудан тыш, алар пластина өслегенә дә урнаштырыламы? Әйе, һичшиксез. Гомумән алганда, сез W-CMP процессын куллана аласыз, аны без механик тарту процессы дип атыйбыз. Бу көчле кардан соң идәнне себерү өчен себерке куллануга охшаган. Җирдәге кар себерелә, ләкин җирдәге тишектәге кар калачак. Аста, якынча шул ук хәл.
Бастырып чыгару вакыты: 2021 елның 24 декабре
