Ультра-югары чисталык (UHP) газлары - ярымүткәргеч индустриясенең яшәү урыны. Глобаль тәэмин итү чылбырларына эремия һәм югары басым газы бәясен күтәрегез, яңа ярымүткәргеч дизайн һәм җитештерү практикалары пычрану белән идарә итү дәрәҗәсен арттыралар. Ярпа газының чисталыгын тәэмин итә алу, UHP газының чисталыгын тәэмин итә белү.

Ультра югары чисталык (UHP) газлар хәзерге ярымүткәргеч җитештерүдә бик мөһим

UHP газының төп гаризаларының берсе - UHP газы - УХП газы саклагыч компонентларын тәэмин итү өчен кулланыла, шуның белән аларны әмилләүдәге дым, кислород һәм атмосферадагы башка пычраткычларның зарарлы нәтиҗәләреннән саклый. Ләкин, инертизация, ярымүткәргеч сәнәгатендә газлар чыгыш ясаучы төрле функцияләрнең берсе. Башлангыч плазмадан газеталардан чыгарылган һәм аннальингта кулланылган реактив газларга кадәр бик күп төрле максатларда кулланыла, һәм ярымүткәргеч белән тәэмин итү чылбыры өчен мөһим.

Ярымлы сәнәгатьтә "үзәк" газлары керәазот(гомуми чистарту һәм инерт газы буларак кулланыла),аргон(төп плазма газы эхетлау һәм чүпләү реакциясендә кулланыла),гелий(махсус җылылык күчерү үзенчәлекләре белән инерт газы буларак кулланыла) һәмводоген(аннальинг, салу, эпитакси һәм плазма чистартуда берничә роль уйный).

Ярымүткәргеч технологиясе үсеш алды һәм үзгәрде, шулай итеп җитештерү процессында кулланылган газлар. Бүген, ярымүткәргеч җитештерү заводлары төрле газларны тәшкил итә, кебеккриптонһәмнеоназот өчпочмак (NF 3) кебек реактив төрләргә кадәр һәм Тунгшен Хексафлуорид (WF 6).

Чисталык өчен үсә

Беренче коммерция микрочип уйлап табышыннан бирле, дөнья ярымүләм формалар чыгышының гаҗәпләнүенә ашыккан. Соңгы биш елда мондый эшләрне яхшырту өчен бу төргә ирешүнең максаты "зурлык скелинг" аша үтте: транзисторларны билгеле бер урынга кысу өчен, булган чип архитектурасының төп юнәлешен киметү. Моннан тыш, яңа чип архитектурасы үсеше һәм кискен материаллар куллану җайланма башкаруында сикерүләр җитештерделәр.

Бүгенге көндә кисү кыргый ярымүткәргечләрнең критик үлчәмнәре хәзер бик кечкенә, ул зурлыктагы масштабның җайланма эшен яхшырту өчен тормышка ашырылмый. Киресенчә, ярымүткәргеч тикшерүчеләр роман материаллары формасында һәм 3D чип архитектурасы рәвешендә карарлар эзлиләр.

Бүгенге ярым шау-шуссыз реестигнай дистәләгәнлеге уртача - иске микрочлардан күпкә көчлерәк - ләкин алар тагын да нурланалар. 300 мм Вафу ясау технологиясе барлыкка килгән, ярымүткәргеч җитештерү өчен кирәк булган пычраклык контроле дәрәҗәсен арттырды. Aufanpone җитештерү процессында гына кечкенә пычрану (аеруча сирәк яки инерт газлары) катастрофик җиһазларның уңышсызлыгына китерергә мөмкин - шуңа күрә газ чисталыгы хәзер мөһимрәк.

Типик ярымүткәргеч җитештерү заводы, ультра-югары чисталык газы кремний үзедән соң иң зур материя чыгымнары. Бу чыгымнар ярымүткәргечләргә яңа биеклекләргә ихтыяҗ булып артыр дип көтелә. Европадагы вакыйгалар киеренке ультра югары басым базарына өстәмә өзеклек тудырды. Украина - дөньяның иң зур сафлыгы экспортерларының берсенеонбилгеләр; Россия басынкы - сирәк очрый торган газ белән тәэмин итү дигән сүз. Бу үз чиратында, башка затлы газларның җитмәүләренә һәм югарырак бәяләргә китердекриптонһәмКсенон.