Югары сыйфатлы (UHP) газлар ярымүткәргечләр сәнәгатенең кан тамыры булып тора. Моңарчы күрелмәгән сорау һәм глобаль тәэмин итү чылбырларындагы өзеклекләр югары басымлы газ бәясен күтәргәнлектән, яңа ярымүткәргечләр проектлау һәм җитештерү практикасы кирәкле пычрануны контрольдә тоту дәрәҗәсен арттыра. Ярымүткәргеч җитештерүчеләр өчен UHP газының сафлыгын тәэмин итү элеккегә караганда мөһимрәк.

Заманча ярымүткәргечләр җитештерүдә ультра югары чисталыклы (UHP) газлар бик мөһим.

UHP газының төп кулланылышларының берсе - инертизация: UHP газы ярымүткәргеч компонентлары тирәсендә саклагыч атмосфера булдыру өчен кулланыла, шуның белән аларны атмосферадагы дым, кислород һәм башка пычраткыч матдәләрнең зарарлы йогынтысыннан саклый. Ләкин, инертизация - ярымүткәргеч сәнәгатендә газлар башкара торган күп төрле функцияләрнең берсе генә. Беренчел плазма газларыннан алып, гравюра һәм җылытуда кулланыла торган реактив газларга кадәр, ультра югары басымлы газлар күп төрле максатларда кулланыла һәм ярымүткәргечләр белән тәэмин итү чылбырында бик мөһим.

Ярымүткәргечләр сәнәгатендәге кайбер "төп" газлар түбәндәгеләрне үз эченә алаазот(гомуми чистарту һәм инерт газ буларак кулланыла),аргон(гравюра һәм утырту реакцияләрендә беренчел плазма газы буларак кулланыла),гелий(махсус җылылык күчерү үзлекләре булган инерт газ буларак кулланыла) һәмводород(яшерүдә, утыртуда, эпитаксиядә һәм плазма чистартуда күп роль уйный).

Ярымүткәргеч технологиясе үсеш алган һәм үзгәргән саен, җитештерү процессында кулланыла торган газлар да үзгәрде. Бүгенге көндә ярымүткәргеч җитештерү заводлары төрле газлар кулланалар, мәсәлән, асыл газлар.криптонһәмнеоназот трифториды (NF3) һәм вольфрам гексафториды (WF6) кебек реактив төрләргә.

Чисталыкка ихтыяҗ арта

Беренче коммерция микрочипы уйлап табылганнан бирле, дөнья ярымүткәргеч җайланмаларның эшчәнлегендә гаҗәеп экспоненциаль үсеш күзәтә. Соңгы биш ел эчендә мондый эшчәнлекне яхшыртуга ирешүнең иң ышанычлы ысулларының берсе "зурлыкны масштаблау" аша булды: билгеле бер урынга күбрәк транзисторлар сыю өчен гамәлдәге чип архитектураларының төп үлчәмнәрен киметү. Моннан тыш, яңа чип архитектураларын эшләү һәм алдынгы материаллар куллану җайланмаларның эшчәнлегендә сикерешләр китерде.

Бүгенге көндә алдынгы ярымүткәргечләрнең мөһим үлчәмнәре шулкадәр кечкенә ки, үлчәмнәрне масштаблау җайланмаларның эшчәнлеген яхшыртуның уңышлы ысулы түгел. Киресенчә, ярымүткәргеч тикшеренүчеләре яңа материаллар һәм 3D чип архитектуралары рәвешендә чишелешләр эзлиләр.

Дистә еллар дәвамында арымыйча яңарту бүгенге ярымүткәргеч җайланмаларның элеккеге микрочипларга караганда күпкә көчлерәк булуын аңлата, ләкин алар шулай ук ​​​​сынучанрак. 300 мм пластиналар ясау технологиясенең барлыкка килүе ярымүткәргечләр җитештерү өчен кирәкле катнашмаларны контрольдә тоту дәрәҗәсен арттырды. Хәтта җитештерү процессындагы иң кечкенә пычрану да (бигрәк тә сирәк очрый торган яки инерт газлар) җиһазларның һәлакәткә китерерлек җимерелүенә китерергә мөмкин - шуңа күрә газның чисталыгы хәзер элеккегә караганда мөһимрәк.

Гадәти ярымүткәргечләр җитештерү заводы өчен, кремнийдән соң, ультра югары чисталыклы газ иң зур материал чыгымнары булып тора. Бу чыгымнарның артуы гына көтелә, чөнки ярымүткәргечләргә ихтыяҗ яңа биеклекләргә күтәрелә. Европадагы вакыйгалар ультра югары басымлы табигый газ базарында өстәмә үзгәрешләргә китерде. Украина - дөньядагы югары чисталыклы газның иң зур экспортерларының берсе.неонбилгеләр; Россиянең басып керүе сирәк газ белән тәэмин итүнең чикләнүен аңлата. Бу үз чиратында башка затлы газларның җитмәүенә һәм бәяләренең артуына китерде, мәсәлән,криптонһәмксенон.