Коры чистарту технологиясе - төп процессларның берсе. Коры эфир газы ярымүткәргеч җитештерүдә төп материал һәм плазма эфиры өчен мөһим газ чыганагы. Аның эшләве соңгы продуктның сыйфатына һәм эшенә турыдан-туры тәэсир итә. Бу мәкалә, нигездә, коры эфир процессында еш кулланыла торган газ чыгару нәрсәләре белән уртаклаша.
Фторга нигезләнгән газлар: кебекуглерод тетрафлуорид (CF4), гексафлуоретан (C2F6), трифлорометан (CHF3) һәм парфлюоропропан (C3F8). Бу газлар кремний һәм кремний кушылмаларын чистартканда үзгәрүчән фторидлар эффектив ясарга мөмкин, шуның белән материалны чыгаруга ирешәләр.
Хлор нигезендәге газлар: хлор (Cl2) кебек,бор трихлорид (BCl3)һәм кремний тетрахлорид (SiCl4). Хлорга нигезләнгән газлар чистарту процессында хлорид ионнары белән тәэмин итә ала, бу эфир тизлеген һәм сайлап алу сәләтен яхшыртырга ярдәм итә.
Бромга нигезләнгән газлар: бром (Br2) һәм бром йоды (IBr) кебек. Бромга нигезләнгән газлар, аеруча кремний карбид кебек каты материалларны эшкәрткәндә, эшкәртү процессында яхшырак эшкәртү мөмкинлеген бирә ала.
Азотлы һәм кислородлы газлар: азот трифлорид (NF3) һәм кислород (O2) кебек. Бу газлар, гадәттә, эфир процессының реакция шартларын көйләү өчен кулланыла.
Бу газлар плазма эфиры вакытында физик бөтерелү һәм химик реакцияләр комбинациясе ярдәмендә материаль өслекнең төгәл эфирына ирешәләр. Эзләү газын сайлау материалның төренә, эфирның сайлап алу таләпләренә һәм кирәкле эфир тизлегенә бәйле.
Пост вакыты: Февраль-08-2025
