Коры Эчинг технологиясе - төп процессларның берсе. Коры Эйчинг газы - ярымүткәргеч җитештерүнең төп материалы һәм плазма өчен иң мөһим газ чыганагы. Аның эше соңгы продуктның сыйфатына һәм башкаруга туры килә. Бу мәкалә, нигездә, коры эхетлау процессында еш кулланыла торган эчәк газлары белән уртаклаша.
Фтор нигезендә газлар: кебекУглерод тетаплуорид (CF4), Хекафлуороетан (C2F6), Трифлуорометан (CHF3) һәм Перфлуороптан (C3F8). Бу газлар Кремний белән Кремний кушылмаларны чыгарганда, шуның белән материаль бетерүдә активрак форма тудырырга мөмкин.
Хлор нигезендә газлар: Хлор (CL2) кебек,Борон Трихлорид (BCL3)һәм кремний тетрачлорид (sicl4). Хлор нигезендәге газлар хлорид ионнарын эхетинг процессында тәэмин итә ала, бу эчинг ставкасын һәм сайлапчелекне яхшыртырга ярдәм итә.
Броминга нигезләнгән газлар: Бромин (BR2) һәм Бромина йод кебек. Броминга нигезләнгән газлар кайбер эфир процессларында яхшырак чыгарыла ала, аеруча кремний карбиды кебек каты материалларны чыгарганда.
Азотка нигезләнгән һәм кислород нигезендә газлар: азот өчпе (NF3) һәм кислород (O2) кебек. Бу газлар, гадәттә, Эчингның сайлап алуын һәм юнәлешен яхшырту өчен, Эчинг процессында реакция шартларын көйләү өчен кулланыла.
Бу газлар материаль өслекнең төгәл чыгарылуына ирешәләр, Плазма чокыры вакытында физик күзәнәк һәм химик реакцияләр белән. Эчен сайлау газын сайлау материалның төренә бәйле, эветлау таләпләрен, кирәкле эчинг ставкасы.
Пост вакыты: Февраль-08-2025
