Коры гравировка технологиясе - төп процессларның берсе. Коры гравировка газы - ярымүткәргечләр җитештерүдә төп материал һәм плазма гравировкасы өчен мөһим газ чыганагы. Аның эшчәнлеге соңгы продуктның сыйфатына һәм эшчәнлегенә турыдан-туры тәэсир итә. Бу мәкаләдә, нигездә, коры гравировка процессында еш кулланыла торган гравировка газлары турында сөйләнә.
Фтор нигезендәге газлар: мәсәләнуглерод тетрафториды (CF4), гексафторэтан (C2F6), трифторметан (CHF3) һәм перфторпропан (C3F8). Бу газлар кремний һәм кремний кушылмаларын эшкәртү вакытында очучан фторидларны нәтиҗәле рәвештә барлыкка китерә ала, шуның белән материалны бетерүгә ирешә.
Хлор нигезендәге газлар: мәсәлән, хлор (Cl2),бор трихлориды (BCl3)һәм кремний тетрахлориды (SiCl4). Хлор нигезендәге газлар эшкәртү процессында хлорид ионнары белән тәэмин итә ала, бу эшкәртү тизлеген һәм сайлап алучанлыкны яхшыртырга ярдәм итә.
Бром нигезендәге газлар: мәсәлән, бром (Br2) һәм бром йодиды (IBr). Бром нигезендәге газлар кайбер эшкәртү процессларында, бигрәк тә кремний карбиды кебек каты материалларны эшкәртүдә, яхшырак эшкәртү нәтиҗәлелеген тәэмин итә ала.
Азот нигезендәге һәм кислород нигезендәге газлар: мәсәлән, азот трифториды (NF3) һәм кислород (O2). Бу газлар гадәттә гравировка процессында реакция шартларын көйләү өчен кулланыла, гравировканың сайлап алучанлыгын һәм юнәлешен яхшырту өчен.
Бу газлар плазма белән эшкәртү вакытында физик сиптерү һәм химик реакцияләр ярдәмендә материал өслеген төгәл эшкәртүгә ирешәләр. Эшкәртү газын сайлау эшкәртеләчәк материал төренә, эшкәртүнең сайлап алучанлык таләпләренә һәм теләгән эшкәртү тизлегенә бәйле.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 8 феврале
