Электронмахсус газлармахсус газларның мөһим тармагы булып торалар. Алар ярымүткәргечләр җитештерүнең һәр звеносына диярлек үтеп керәләр һәм электрон сәнәгать, мәсәлән, ультра зур масштаблы интеграль схемалар, яссы панельле дисплей җайланмалары һәм кояш батареялары җитештерү өчен алыштыргысыз чимал булып торалар.

Ярымүткәргечләр технологиясендә фторлы газлар киң кулланыла. Хәзерге вакытта глобаль электрон газ базарында фторлы электрон газлар гомуми күләмнең якынча 30% ын тәшкил итә. Фторлы электрон газлар электрон мәгълүмати материаллар өлкәсендә махсус электрон газларның мөһим компоненты булып тора. Алар, нигездә, чистарту чаралары һәм гравюра чаралары буларак кулланыла, шулай ук ​​легирлау, пленка формалаштыручы материаллар һ.б. буларак та кулланылырга мөмкин. Бу мәкаләдә автор сезне фторлы газларның еш очрый торган төрләре белән таныштырачак.

Түбәндә еш кулланыла торган фторлы газлар бар

Азот трифториды (NF3): Чүпләрне чистарту һәм бетерү өчен кулланыла торган газ, гадәттә реакция камераларын һәм җиһаз өслекләрен чистарту өчен кулланыла.

Күкерт гексафториды (SF6)Оксид утырту процессларында һәм изоляцияләүче мохитне тутыру өчен изоляцияләүче газ буларак кулланыла торган фторлаштыручы агент.

Водород фториды (HF): Кремний өслегеннән оксидларны бетерү өчен һәм кремний һәм башка материалларны эшкәртү өчен химик матдә буларак кулланыла.

Азот фториды (NF): Кремний нитриды (SiN) һәм алюминий нитриды (AlN) кебек материалларны гравюралау өчен кулланыла.

Трифторметан (CHF3) һәмтетрафторметан (CF4): Кремний фториды һәм алюминий фториды кебек фторлы материалларны эшкәртү өчен кулланыла.

Шулай да, фторлы газларның билгеле бер куркынычлары бар, шул исәптән агулылык, коррозия һәм янучанлык.

Токсиклык

Фторлы кайбер газлар агулы, мәсәлән, водород фториды (HF), аның пары тирене һәм сулыш юлларын бик нык ярсыта һәм кеше сәламәтлеге өчен зарарлы.

коррозиялелек

Фторид водород һәм кайбер фторидлар бик коррозик һәм тирегә, күзләргә һәм сулыш юлларына җитди зыян китерергә мөмкин.

Янучанлык

Кайбер фторидлар янучан һәм һавадагы кислород яки су белән реакциягә кереп, көчле җылылык һәм агулы газлар бүлеп чыгара, бу исә янгын яки шартлауга китерергә мөмкин.

Югары басым куркынычы

Кайбер фторлы газлар югары басым астында шартлаучан булалар һәм кулланылганда һәм саклаганда аеруча саклык таләп итә.

Әйләнә-тирә мохиткә йогынты

Фторлы газларның атмосферада яшәү вакыты югары һәм гомуми җылылык күләме югары, алар атмосфераның озон катламына җимергеч йогынты ясый һәм глобаль җылынуга һәм әйләнә-тирә мохитнең пычрануына китерергә мөмкин.

Электроника кебек үсеп килүче өлкәләрдә газларны куллану тирәнәя бара, бу сәнәгать газларына зур күләмдә яңа ихтыяҗ тудыра. Киләсе берничә елда Кытайның материк өлешендә ярымүткәргечләр һәм дисплей панельләре кебек төп электрон компонентларның зур күләмдә яңа җитештерү куәтләренә, шулай ук ​​электрон химик материалларның импортны алыштыруга көчле ихтыяҗга нигезләнеп, эчке электрон газ сәнәгате югары үсеш темплары белән тәэмин ителәчәк.