Электронмахсус газлармахсус газларның мөһим тармагы. Алар ярымүткәргеч җитештерүнең барлык элементларына диярлек үтеп керәләр һәм ультра-зур масштаблы интеграль схемалар, яссы панель дисплей җайланмалары, кояш күзәнәкләре кебек электрон тармаклар җитештерү өчен алыштыргысыз чимал.

Ярымүткәргеч технологиясендә фторлы газлар киң кулланыла. Хәзерге вакытта глобаль электрон газ базарында фторлы электрон газлар гомуми күләмнең 30% тәшкил итә. Фторлы электрон газлар электрон мәгълүмат материаллары өлкәсендә махсус электрон газларның мөһим компоненты. Алар, нигездә, чистарту агентлары һәм эфир агентлары буларак кулланыла, һәм шулай ук ​​допантлар, кино ясаучы материаллар һ.б. кулланылырга мөмкин. Бу мәкаләдә автор сезне гомуми фторлы газларны аңларга алып барачак.

Түбәндә гадәттә фторлы газлар кулланыла

Азот трифлорид (NF3): Чокырларны чистарту һәм чыгару өчен кулланыла торган газ, гадәттә реакция палаталарын һәм җиһаз өслеген чистарту өчен кулланыла.

Күкерт гексафлорид (SF6): Оксидны чүпләү процессларында һәм изоляцион медиа тутыру өчен изоляцион газ буларак кулланылган фторлы агент.

Водород фторы (HF): Кремний өслегеннән оксидларны чыгару өчен, кремний һәм башка материалларны эфирлау өчен кулланыла.

Азот фторы (NF): Кремний нитрид (SiN) һәм алюминий нитрид (AlN) кебек материалларны эшкәртү өчен кулланыла.

Трифлорометан (CHF3) һәмтетрафлуорометан (CF4): Кремний фторы һәм алюминий фторид кебек фтор материалларын чыгару өчен кулланыла.

Ләкин, фторлы газларның кайбер куркынычлары бар, алар арасында агулану, коррозивлык һәм ялкынлану.

Токсиклылык

Кайбер фторлы газлар агулы, мәсәлән, водород фторы (HF), аларның парлары тире һәм сулыш юлларын бик ярсыта һәм кеше сәламәтлегенә зарарлы.

Коррозивлык

Водород фторы һәм кайбер фторидлар бик коррозив һәм тирегә, күзләргә һәм сулыш юлларына зур зыян китерергә мөмкин.

Яна

Кайбер фторидлар янып тора һәм кислород яки су белән һавада реакция ясыйлар, ут яки шартлауга китерергә мөмкин булган көчле җылылык һәм агулы газлар чыгару өчен.

Pressureгары басымлы куркыныч

Кайбер фторлы газлар югары басым астында шартлаткыч һәм кулланганда һәм саклаганда махсус сакчыллык таләп итәләр.

Әйләнә-тирә мохиткә йогынты

Фторлы газлар югары атмосфера гомере һәм GWP кыйммәтләренә ия, алар атмосфера озон катламына җимергеч тәэсир итәләр һәм глобаль җылынуга һәм әйләнә-тирә мохитнең пычрануына китерергә мөмкин.

Электроника кебек үсеп килүче өлкәләрдә газларны куллану тирәнәя бара, сәнәгать газларына зур ихтыяҗ китерә. Киләсе берничә ел эчендә Кытайның материкларында ярымүткәргечләр һәм дисплей панельләр кебек зур электрон компонентларның яңа җитештерү куәтенә, шулай ук ​​электрон химия материалларын импортка алыштыруга булган ихтыяҗга нигезләнеп, эчке электрон газ сәнәгате керәчәк. югары үсеш темплары.