Кремний нитрид эфирында күкерт гексафлоридның роле

Күкерт гексафлорид - искиткеч изоляцион характерлы газ һәм еш кына югары көчәнешле дуга сүндерүдә һәм трансформаторларда, югары көчәнешле тапшыру линияләрендә, трансформаторларда һ.б. кулланыла. Ләкин, бу функцияләргә өстәп, күкерт гексафлорид электрон этант буларак та кулланылырга мөмкин. . Электрон класс югары чисталыклы күкерт гексафлорид - микроэлектроника технологиясе өлкәсендә киң кулланылган идеаль электрон этант. Бүген Niu Ruide махсус газ редакторы ueюй кремний нитрид эфирында күкерт гексафлоридын куллану һәм төрле параметрларның йогынтысы белән таныштырачак.

Без SF6 плазмалы SiNx процессын тикшерәбез, шул исәптән плазма көчен үзгәртү, SF6 / He газ коэффициенты һәм O2 катион газын өстәү, аның TFT SiNx элементын саклау катламының эфир тизлегенә йогынтысын һәм плазма нурланышын куллану турында. спектрометр SF6 / He, SF6 / He / O2 плазмасында һәм SF6 аерылу тизлегендә һәр төрнең концентрация үзгәрүләрен анализлый, һәм SiNx эфир тизлеге үзгәрү белән плазма төрләре концентрациясе арасындагы бәйләнешне тикшерә.

Тикшеренүләр ачыклаганча, плазма көче артканда, эфир тизлеге арта; плазмадагы SF6 агым тизлеге артса, F атом концентрациясе арта һәм эфир тизлеге белән уңай корреляцияләнә. Моннан тыш, тотрыклы агым тизлеге астында O2 катион газын кушканнан соң, ул эфир тизлеген арттыру эффектына ия булачак, ләкин төрле O2 / SF6 агым коэффициентлары астында төрле реакция механизмнары булачак, аларны өч өлешкә бүлеп була. : (1) O2 / SF6 агым коэффициенты бик кечкенә, O2 SF6 аерылуга булыша ала, һәм бу вакытта эфир тизлеге O2 кушылмаганга караганда зуррак. ) ләкин шул ук вакытта плазмадагы O атомнары да арта һәм SiNx кино өслеге белән SiOx яки SiNxO (yx) формалаштыру җиңел, һәм O атомнары арта барган саен, F атомнары авыррак булачак. реакция. Шуңа күрә, O2 / SF6 нисбәте 1гә якын булганда, эфир тизлеге акрыная башлый. О2ның зур үсеше аркасында, аерылган F атомнары O2 һәм OF формасы белән бәрелешәләр, бу F атомнары концентрациясен киметә, нәтиҗәдә эфир тизлеге кими. Моннан күренеп тора, O2 кушылгач, O2 / SF6 агым коэффициенты 0,2 белән 0,8 арасында, һәм иң яхшы эфир тизлеге алына ала.