Гомуми флюорлар булган махсус электрон газлар керәКүкерт Хексафлуорид (SF6), TungSten Hexafluoride (WF6),Углерод тетаплуорид (CF4).
Нанотехнология үсеше һәм электроника сәнәгатенең зур масштаблы үсеше белән аның таләбе көннән артачак. Азотның хәйләсе, панельләр һәм ярымүткәргечләр җитештерү һәм эшкәртүдә, иң зур кулланылган махсус электрон газ, киң базар мәйданына ия.
Махсус газ булган флюорин төре буларак,азот өчпочмак (NF3)Электрон махсус газ продуктлары иң зур базар куәте белән. Бу, бүлмә температурасында, югары температурада кислород кислород, югары температурада кислородка караганда активрак, эшкәртү җиңел. Нитроген TRUORID - нигездә плазма газы һәм реакция палатасы чистарту агенты буларак кулланыла, һәм ярымлы җепселләр, оптик җепселләр, фотоволтаик күзәнәкләр һ.б.
Электрон газлар булган бүтән фтор белән чагыштырганда,азот өчлектиз реакция һәм югары эффективлыкның өстенлекләре бар. Бигрәк тә кремний нитриды кебек кремний белән булган материаллар чыгарып, аның югары эхлевинг ставкасы һәм сайлап алу бар, ул объект өстендә калдык юк. Бу шулай ук бик яхшы чистарту агенты, эшкәртү процессы ихтыяҗларын канәгатьләндерә ала торган өскә пычрануы юк.
Пост вакыты: 14-2024
