Фторлы махсус электрон газлар арасында киң таралганнары бар.күкерт гексафториды (SF6)вольфрам гексафлорид (WF6),углерод тетрафториды (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториды (NF3), гексафторэтан (C2F6) һәм октафторопропан (C3F8).
Нанотехнологияләр үсеше һәм электроника сәнәгатенең киң колачлы үсеше белән аңа ихтыяҗ көннән-көн артачак. Азот трифториды, панельләр һәм ярымүткәргечләр җитештерү һәм эшкәртүдә алыштыргысыз һәм иң күп кулланыла торган махсус электрон газ буларак, киң базар мәйданына ия.
Фторлы махсус газ төре буларак,азот трифториды (NF3)ул иң зур базар сыйдырышлыгына ия электрон махсус газ продукты. Ул бүлмә температурасында химик яктан инерт, югары температурада кислородтан активрак, фтордан тотрыклырак һәм эшкәртү җиңел. Азот трифториды, нигездә, плазма эшкәртү газы һәм реакция камерасын чистарту чарасы буларак кулланыла, һәм ярымүткәргеч чиплар, яссы панель дисплейлар, оптик җепселләр, фотоэлектрик элементлар һ.б. җитештерү өлкәләрендә яраклы.
Фторлы башка электрон газлар белән чагыштырганда,азот трифторидытиз реакция һәм югары нәтиҗәлелек өстенлекләренә ия. Аеруча кремний нитриды кебек кремнийлы материалларны гравировкалауда, ул югары гравировка тизлегенә һәм сайлап алучанлыкка ия, гравировкаланган әйбернең өслегендә калдыклар калдырмый. Ул шулай ук бик яхшы чистарту чарасы һәм өслеккә пычрату юк, бу эшкәртү процессы ихтыяҗларын канәгатьләндерә ала.
Бастырылган вакыты: 2024 елның 14 сентябре
