Гомуми фторлы махсус электрон газлар керәкүкерт гексафлорид (SF6)вольфрам гексафлорид (WF6),углерод тетрафлуорид (CF4), трифлорометан (CHF3), азот трифлорид (NF3), гексафлуоретан (C2F6) һәм октафлоропропан (C3F8).
Нанотехнология үсеше һәм электроника сәнәгатенең зур үсеше белән аның ихтыяҗы көннән-көн артачак. Азот трифлорид, панельләр һәм ярымүткәргечләр җитештерүдә һәм эшкәртүдә алыштыргысыз һәм иң зур кулланылган махсус электрон газ буларак, киң базар мәйданына ия.
Фторлы махсус газ төре буларак,азот трифлорид (NF3)иң зур базар сыйдырышлы электрон махсус газ продукты. Ул бүлмә температурасында химик яктан инерт, югары температурада кислородка караганда активрак, фторга караганда тотрыклырак һәм эшкәртү җиңел. Азот трифлориды, нигездә, плазмалы газ һәм реакция камерасын чистартучы буларак кулланыла, һәм ярымүткәргеч чиплар, яссы панель дисплейлары, оптик җепселләр, фотоволтаик күзәнәкләр һ.б. җитештерү кырлары өчен яраклы.
Башка фторлы электрон газлар белән чагыштырганда,азот трифлоридтиз реакция һәм югары эффективлык өстенлекләренә ия. Бигрәк тә кремнийлы нитрид кебек кремний булган материалларны эшкәртүдә, ул югары эфир тизлегенә һәм сайлап алу дәрәҗәсенә ия, чистартылган объект өстендә калдык калмый. Бу шулай ук бик яхшы чистарту агенты һәм эшкәртү процессының ихтыяҗларын канәгатьләндерә алырлык өслектә пычрану юк.
Пост вакыты: 14-2024 сентябрь
