Илебезнең ярымүткәргечләр сәнәгате һәм панельләр сәнәгате югары дәрәҗәдә үсеш кичерә. Азот трифториды, панельләр һәм ярымүткәргечләр җитештерү һәм эшкәртүдә алыштыргысыз һәм иң зур күләмле махсус электрон газ буларак, киң базар мәйданына ия.
Еш кулланыла торган фторлы махсус электрон газлар түбәндәгеләрне үз эченә алакүкерт гексафториды (SF6)вольфрам гексафлорид (WF6),углерод тетрафториды (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториды (NF3), гексафторэтан (C2F6) һәм октафторопропан (C3F8). Азот трифториды (NF3), нигездә, водород фториды-фтор газы югары энергияле химик лазерлар өчен фтор чыганагы буларак кулланыла. H2-O2 һәм F2 арасындагы реакция энергиясенең нәтиҗәле өлеше (якынча 25%) лазер нурланышы белән чыгарылырга мөмкин, шуңа күрә HF-OF лазерлары химик лазерлар арасында иң өметле лазерлар булып тора.
Азот трифториды - микроэлектроника сәнәгатендә плазмада эшкәртү өчен бик яхшы газ. Кремний һәм кремний нитридын эшкәртү өчен, азот трифториды углерод тетрафториды һәм углерод тетрафториды һәм кислород катнашмасына караганда югарырак эшкәртү тизлегенә һәм сайлап алучанлыгына ия, һәм өслеккә пычрату юк. Бигрәк тә калынлыгы 1,5 мкм дан кимрәк булган интеграль схема материалларын эшкәртүдә, азот трифториды бик яхшы эшкәртү тизлегенә һәм сайлап алучанлыгына ия, эшкәртү объекты өслегендә калдыклар калдырмый, һәм шулай ук бик яхшы чистарту чарасы булып тора. Нанотехнологияләр үсеше һәм электроника сәнәгатенең киң колачлы үсеше белән аңа ихтыяҗ көннән-көн артачак.
Фторлы махсус газ төре буларак, азот трифториды (NF3) базардагы иң зур электрон махсус газ продукты булып тора. Ул бүлмә температурасында химик яктан инерт, кислородтан активрак, фтордан тотрыклырак һәм югары температурада эшкәртү җиңел.
Азот трифториды, нигездә, плазма эшкәртү газы һәм реакция камерасын чистарту чарасы буларак кулланыла, ярымүткәргеч чиплар, яссы панель дисплейлар, оптик җепселләр, фотоэлектрик элементлар һ.б. кебек җитештерү өлкәләрендә яраклы.
Башка фторлы электрон газлар белән чагыштырганда, азот трифториды тиз реакция һәм югары нәтиҗәлелек кебек өстенлекләргә ия, бигрәк тә кремний нитриды кебек кремнийлы материалларны эшкәртүдә, ул югары эшкәртү тизлегенә һәм сайлап алучанлыкка ия, эшкәртү объекты өслегендә калдыклар калдырмый, шулай ук бик яхшы чистарту чарасы булып тора, өслеккә пычратмый һәм эшкәртү процессы ихтыяҗларын канәгатьләндерә ала.
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 26 декабре
