Илебезнең ярымүткәргеч индустриясе һәм панель индустриясе югары үсеш дәрәҗәсен саклый. Азот трифлорид, панельләр һәм ярымүткәргечләр җитештерүдә һәм эшкәртүдә алыштыргысыз һәм иң зур күләмле махсус электрон газ буларак, киң базар мәйданына ия.
Гадәттә кулланыла торган фторлы махсус электрон газларкүкерт гексафлорид (SF6)вольфрам гексафлорид (WF6),углерод тетрафлуорид (CF4), трифлорометан (CHF3), азот трифлорид (NF3), гексафлуоретан (C2F6) һәм октафлоропропан (C3F8). Азот трифлорид (NF3), нигездә, водород фторид-фтор газы югары энергияле химик лазерлар өчен фтор чыганагы буларак кулланыла. H2-O2 һәм F2 арасындагы реакция энергиясенең эффектив өлеше (якынча 25%) лазер нурлары белән чыгарылырга мөмкин, шуңа күрә HF-OF лазерлары химик лазерлар арасында иң перспективалы лазерлар.
Азот трифлорид - микроэлектроника өлкәсендә искиткеч плазмалы газ. Кремний һәм кремний нитридын чыгару өчен, азот трифлуоридының углерод тетрафлоридына һәм углерод тетрафлуорид һәм кислород катнашмасына караганда югарырак тизлеге һәм сайлыгы бар, һәм өслектә пычрану юк. Бигрәк тә калынлыгы 1,5умнан да ким булмаган интеграль схема материалларын эшкәртүдә, азот трифлорид бик яхшы эфир тизлеге һәм сайлап алу дәрәҗәсенә ия, чистартылган әйбер өстендә калдык калдырмый, шулай ук бик яхшы чистарту агенты. Нанотехнология үсеше һәм электроника сәнәгатенең зур үсеше белән аның ихтыяҗы көннән-көн артачак.
Фторлы махсус газ төре буларак, азот трифлорид (NF3) - базардагы иң зур электрон махсус газ продукты. Ул бүлмә температурасында химик яктан инерт, кислородка караганда активрак, фторга караганда тотрыклырак һәм югары температурада эшкәртү җиңел.
Азот трифлорид, нигездә, плазмалы газ һәм реакция камерасын чистартучы агент буларак кулланыла, ярымүткәргеч чиплар, яссы панель дисплейлары, оптик җепселләр, фотоволтаик күзәнәкләр һ.б.
Башка фторлы электрон газлар белән чагыштырганда, азот трифлуорид тиз реакция һәм югары эффективлык өстенлекләренә ия, аеруча кремнийлы нитрид кебек кремний булган материалларны эшкәртүдә, ул югары тизлек һәм сайлап алу дәрәҗәсенә ия, чистартылган әйбер өстендә калдык калдырмый, шулай ук эшкәртү процессын пычратмый.
Пост вакыты: 26-2024 декабрь
