2018 елда интеграль микросхемалар өчен глобаль электрон газ базары 4,512 миллиард АКШ долларына җитте, бу узган ел белән чагыштырганда 16% ка арту. Ярымүткәргечләр өчен электрон махсус газ сәнәгатенең югары үсеш темплары һәм базарның зур күләме электрон махсус газны эчке алыштыру планын тизләтте!
Электрон газы нәрсә ул?
Электрон газ ярымүткәргечләр, яссы панельле дисплейлар, яктылык чыгаручы диодлар, кояш батареялары һәм башка электрон продуктлар җитештерүдә кулланыла торган төп чыганак материалга карый һәм чистартуда, гравюрада, пленка формалаштыруда, легирлауда һәм башка процессларда киң кулланыла. Электрон газның төп куллану өлкәләренә электроника сәнәгате, кояш батареялары, мобиль элемтә, автомобиль навигациясе һәм автомобиль аудио һәм видео системалары, аэрокосмик, хәрби сәнәгать һәм башка күп өлкәләр керә.
Электрон махсус газны үзенең химик составы буенча җиде категориягә бүлеп була: кремний, мышьяк, фосфор, бор, металл гидриды, галогенид һәм металл алкоксиды. Интеграль схемаларда төрле куллану ысулларына карап, аны легирлау газы, эпитакси газы, ион имплантациясе газы, яктылык чыгаручы диод газы, эшкәртү газы, химик пар утырту газы һәм баланс газына бүлеп була. Ярымүткәргечләр сәнәгатендә 110 нан артык махсус газ кулланыла, шуларның 30 дан артыгы гадәттә кулланыла.
Гомумән алганда, ярымүткәргечләр җитештерү сәнәгате газларны ике төргә бүлә: гадәти газлар һәм махсус газлар. Алар арасында еш кулланыла торган газ үзәкләштерелгән тәэмин итүне аңлата һәм күп газ куллана, мәсәлән, N2, H2, O2, Ar, He һ.б. Махсус газ ярымүткәргечләр җитештерү процессында кулланыла торган кайбер химик газларны аңлата, мәсәлән, киңәйтү, ион инъекциясе, кушу, юу һәм битлек формалаштыру, без хәзер электрон махсус газ дип атыйбыз, мәсәлән, югары чисталыклы SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 һ.б.
Ярымүткәргеч сәнәгатенең бөтен җитештерү процессында, чип үсешеннән алып җайланмаларны соңгы төргәкләүгә кадәр, һәр звено диярлек электрон махсус газдан, кулланылган газның төрлелегеннән һәм югары сыйфат таләпләреннән аерылгысыз, шуңа күрә электрон газның ярымүткәргеч материаллары бар. "Азык-төлек".
Соңгы елларда Кытайның ярымүткәргечләр һәм дисплей панельләре кебек төп электрон компонентлары яңа җитештерү куәтләренә ия булды, һәм электрон химик материалларны импортны алыштыруга ихтыяҗ зур. Ярымүткәргечләр сәнәгатендә электрон газларның урыны барган саен күренеклерәк була бара. Эчке электрон газ сәнәгате тиз үсеш алачак.
Электрон махсус газның чисталыгы бик югары таләпләргә туры килә, чөнки чисталык таләпләргә туры килмәсә, электрон махсус газдагы су пары һәм кислород кебек катнашма төркемнәре ярымүткәргеч өслегендә җиңел оксид пленкасы барлыкка китерә, бу электрон җайланмаларның хезмәт итү вакытына тәэсир итә, ә электрон махсус газ составында катнашма кисәкчәләре ярымүткәргечләрдә кыска ялганышлар һәм схемага зыян китерергә мөмкин. Чисталыкны яхшырту электрон җайланмалар җитештерүнең нәтиҗәлелегендә һәм эшчәнлегендә мөһим роль уйный дип әйтергә мөмкин.
Ярымүткәргечләр сәнәгатенең өзлексез үсеше белән чип җитештерү процессы яхшыра бара, һәм хәзер ул 5 нм га җитте, бу Мур законы чигенә якынлашырга җыена, бу кеше чәченең егермедән бер өлешенә тигез (якынча 0,1 мм). Шуңа күрә бу шулай ук ярымүткәргечләр тарафыннан җитештерелгән электрон махсус газның чисталыгына югарырак таләпләр куя.
Бастырылган вакыты: 2021 елның 15 декабре
