Чагыштырмача производство процессы булган ярымүткәргеч вафин фабрикаларын җитештерү процессында якынча 50 төрле газ кирәк. Газлар гадәттә күпчелек газларга бүленәләр һәммахсус газлар.

Газларны микроэлектроника һәм ярымүткәргеч тармакларында куллану Ярымүткәргеч процессларда газларны куллану һәрвакыт мөһим роль уйный, аеруча ярымүткәргеч процесслары төрле тармакларда киң кулланыла. ULSI, TFT-LCD-дан хәзерге микро-электромеханик (MEMS) индустриясенә кадәр, ярымүткәргеч процесслар продукт җитештерү процессы буларак кулланыла, шул исәптән коры эфир, оксидлашу, ион имплантациясе, нечкә пленка һ.б.

Мәсәлән, күпләр чипларның комнан ясалганын беләләр, ләкин чип җитештерүнең бөтен процессына күз салсак, фоторезист, полировкалаучы сыеклык, максатлы материал, махсус газ һ.б. кирәк булган материаллар кирәк. Арткы упаковка шулай ук ​​төрле материалларның субстратларын, интерпозерларын, корыч рамкаларын, бәйләү материалларын һ.б. таләп итә. Электрон махсус газлар ярымүткәргеч җитештерү чыгымнарында кремний вафаларыннан соң икенче урында тора, аннары битлекләр һәм фоторезистлар.

Газның чисталыгы компонентларның эшләвенә һәм продукт җитештерүчәнлегенә хәлиткеч йогынты ясый, һәм газ белән тәэмин итү куркынычсызлыгы персонал сәламәтлеге һәм завод эше куркынычсызлыгы белән бәйле. Ни өчен газ чисталыгы процесс линиясенә һәм персоналга шундый зур йогынты ясый? Бу артык арттыру түгел, ләкин газның куркыныч характеристикалары белән билгеләнә.

Ярымүткәргеч тармагында гомуми газларны классификацияләү

Гади газ

Гади газ шулай ук ​​күпчелек газ дип атала: ул 5N-тан түбән булган һәм зур җитештерү һәм сату күләме булган сәнәгать газын аңлата. Аны төрле әзерләү ысуллары буенча һаваны аеру газына һәм синтетик газга бүлеп була. Водород (H2), азот (N2), кислород (O2), аргон (А2) һ.б.;

Махсус газ

Махсус газ - аерым өлкәләрдә кулланыла торган, чисталык, төрлелек, үзлекләр өчен махсус таләпләргә ия булган сәнәгать газын аңлата. НигездәSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... һ.б.

Спис газларның төрләре

Махсус газ төрләре: коррозив, агулы, ялкынлы, янучан, инерт һ.б.
Гадәттә кулланыла торган ярымүткәргеч газлары түбәндәгечә классификацияләнәләр:
(i) коррозив / агулы:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBr 、 SiH2Cl2 、 NH3 、 PH3 、 Cl2 、BCl3…
(ii) Яна торган: H2 、CH4、SiH4、 PH3 、 AsH3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) Яна торган: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3…
(iv) инерт: N2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Ул…

Ярымүткәргеч чип җитештерү процессында оксидлашу, диффузия, чүпләү, эфир, инъекция, фотолитография һәм башка процессларда якынча 50 төрле махсус газ (махсус газ дип атала) кулланыла, һәм процессның гомуми адымнары йөзләгәннән артып китә. Мәсәлән, PH3 һәм AsH3 ион имплантация процессында фосфор һәм арсеник чыганаклар буларак кулланыла, F нигезендәге газлар CF4, CHF3, SF6 һәм CI2, BCI3, HBr газлары гадәттә эшкәртү процессында кулланыла, SiH4, NH3, N2O фотолитография процессында фильм процессы, F2 / Kr / Ne, Kr / Ne.

Aboveгарыдагы аспектлардан без күп ярымүткәргеч газларның кеше организмына зарарлы булуын аңлый алабыз. Аерым алганда, SiH4 кебек кайбер газлар үз-үзләрен яндыралар. Алар агып чыккач, алар һавада кислород белән каты реакция ясарлар һәм яна башларлар; һәм AsH3 бик агулы. Anyәрбер аз агып чыгу кешеләр тормышына зыян китерергә мөмкин, шуңа күрә махсус газлар куллану өчен контроль система дизайнының куркынычсызлыгы таләпләре аеруча зур.

Ярымүткәргечләр югары чисталыклы газларның “өч градус” булуын таләп итәләр.

Газ чисталыгы

Газдагы пычрак атмосфераның эчтәлеге гадәттә газ чисталыгы процентында күрсәтелә, мәсәлән, 99,9999%. Гомумән алганда, электрон махсус газларга чисталык таләбе 5N-6N җитә, һәм шулай ук ​​ppm (миллионга өлеш), ppb (миллиардка өлеш), һәм ppt (триллионга өлеш) пычрак атмосфера күләменең күләме белән күрсәтелә. Электрон ярымүткәргеч кыры махсус газларның чисталыгы һәм сыйфаты өчен иң югары таләпләргә ия, һәм электрон махсус газларның чисталыгы гадәттә 6N-тан зуррак.

Коры

Газдагы эз суының, яки дымның, гадәттә, чык ноктасында күрсәтелә, мәсәлән, атмосфера чык ноктасы -70 ℃.

Чисталык

Газдагы пычраткыч кисәкчәләр саны, µm кисәкчәләре зурлыгы булган кисәкчәләр саны күпме кисәкчәләрдә / M3 белән күрсәтелә. Кысылган һава өчен, гадәттә, мг / м3 котылгысыз каты калдыкларда күрсәтелә, бу нефтьнең эчтәлеген үз эченә ала.