Чемлы алдынгы җитештерү процесслары белән җитештерү процессында, чагыштырмача җитештерү процессы белән, якынча 50 төрле төр газларның кирәк. Газлар гадәттә күпчелек газларга бүленәләр һәмМахсус газлар.

Микроэлективта һәм ярымүткәргеч сәнәгатьтә газларны куллану газларны куллану һәрвакыт ярымүткәргеч процессларда мөһим роль уйный, аеруча ярымүткәргеч процесслары төрле тармакларда киң кулланыла. Ulsi, TFT-LCD-дан хәзерге микро-электромеханик (мемнар) сәнәгатенә, ярымүткәргеч процесслар продукт җитештерү процесслары буларак кулланыла, шул исәптән коры эхика расписаниесе, нечкә фильм чүплеге һ.б.

Мәсәлән, күпләр боналарның комнан ясалганын беләләр, ләкин чипны җитештерүнең бөтен процессы, мәсәлән, фоторесист, максатчан материаль, махсус газ һ.б., алыштыргысыз. Арткы очаклар шулай ук ​​подъездлар, үзара бәйләнеш, алып бару рамкаларын, бәйләнешле рамкалар, бәйләнешле рамкалар, бәйләү материаллары һ.б. Электрон махсус газлар - ярымүткәрветкор җитештерү буенча икенче зур материал - кремний дулкыннарыннан соң чыгымнар, аннары битлекләр һәм фоторесистлар.

Газның чисталыгы компонент спектакле һәм продукт уңышына хәлиткеч йогынты ясый, һәм газ белән тәэмин итү персоналның сәламәтлеге һәм завод операциясенең куркынычсызлыгы белән бәйле. Ни өчен газ чисталыгы процесс линиясенә һәм персоналга шундый зур йогынты ясый? Бу артып китү түгел, ә газның куркыныч характеристикасы белән билгеләнә.

Ярымүткәргеч сәнәгатендә гомуми газларны классификацияләү

Гади газ

Гади газ шулай ук ​​күпчелек газ дип атала: ул сәнәгать газын 5нчедән түбән, зур җитештерү һәм сату күләмен аңлата. Аны һавадан аеру газы һәм синтетик газга бүленергә мөмкин, төрле әзерлек ысуллары буенча. Водород (H2), азот (N2), кислород (O2), Аргон (A2) һ.б. .;

Белгечлек

Белгечлек газы конкрет өлкәләрдә кулланыла торган һәм чисталык, төрлелек һәм үзлекләр өчен махсус таләпләргә ия. НигездәSIH4, Ph3, b2h6, a8h3,Hcl, CF4,Nh3, PCL3, Sih2CL2, Sihcl3,Nh3, Bl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... һ.б.

Сулы бөртекләрнең төрләре

Махсус газларның төрләре: Коррозив, токсик, янып торган, яну-берләштерелешү, инерт һ.б.
Гадәттә ярымүткәргеч газлар түбәндәгечә классификацияләнәләр:
(i) коррозив / токсик:Hcl, BF3, WF6, HBR, HBR, NH3, PH3, PH3, CL2,Bl3...
(II) янып торган: H2,CH4,,SIH4, Ph3, Ash2C3, Sih2CL2, B2H6, CH2F2, C3F, Co ...
(iii) яну: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) инерт: N2,Cf4, C2F6,C4f8,,SF6, CO2,Ne,,Kr, Ул ...

Ярымүткәргеч чипы җитештерү процессында оксидлашу, диффузия, чүпләнү, инъекцияләү, инъекция, инъекция, фотосурәттә һәм башка процесслар йөзләрчәдән ​​артып китәләр. Мәсәлән, ph3 һәм ash3 телефон имплантация процессында фосфор һәм Арсентация чыганагы буларак кулланыла, CHF3, SF3, SIH4, NH3, N2O фотолитография процессында.

Aboveгарыдагы яклардан без аңлый алабыз, күп ярымүткәргеч газларның кеше организмына зарарлы. Аерым алганда, SIW4 кебек, үз-үзләрен яктырткан газлар. Агып чыкса, алар һавада кислород белән каты реакция ясарлар һәм яндыра башлыйлар; һәм Ash3 бик агулы. Бераз таяк кешеләрнең тормышына зыян китерергә мөмкин, шуңа күрә махсус газларны куллану өчен контроль система дизайнының куркынычсызлыгы таләпләре аеруча югары.

Ярымүткәрүчеләр "өч градус" өчен зур чисталык газларын таләп итәләр.

Газ сафлыгы

Газдагы пычрак атмосфераның эчтәлеге гадәттә 99,99999% кебек газ сафлыгы проценты буларак күрсәтелә. Гомумән алганда, электрон махсус газлар өчен электрон махсус газлар өчен чисталык таләбе 5н-6н. Электрон ярымүткәргеч кырда махсус газларның чисталыгы һәм сыйфатлы тотрыклылыгы бар, һәм электрон махсус газларның чисталыгы гадәттә 6ннан да зуррак.

Коры

Газдагы һәм дымлы су эчтәлеге, гадәттә, атмосфера эш пункты кебек чык нокталарында күрсәтелгән.

Чисталык

Газдагы пычрак кисәкчәләр саны, кисәкчәләр зурлыгында, кисәкчәләр зурлыгында, ничә кисәкчәләр / м3 күрсәтелә. Кысылган һава өчен, гадәттә, MG / M3-ның мг / м3, ул нефть эчтәлеген үз эченә алган котылгысыз нык калдыкларның MG / M3 белән күрсәтелә.