Водород хлоридтөсле иссез төссез газ. Аның су эремәсе гидрохлор кислотасы дип атала, ул шулай ук ​​гидрохлор кислотасы дип атала. Водород хлорид суда бик эри. 0 ° C температурада 1 том су якынча 500 том водород хлорын эретә ала.

Аның түбәндәге үзенчәлекләре һәм үзенчәлекләре бар:

1. Highгары чисталык

Электрон класс чисталыгыводород хлоридярымүткәргеч җитештерү процессына бернинди пычраклар кермәсен өчен, бик югары, гадәттә ppm яки түбән дәрәҗәдә.

2. Инерция

Бу химик инерт газ, башка бик күп матдәләр белән реакцияләнми, ярымүткәргеч материаллар һәм җиһазлар пычрану өчен бик мөһим.

3. stabilityгары тотрыклылык

Электрон классводород хлоридышанычлы ярымүткәргеч эшкәртүне тәэмин итү өчен, гадәттә, тотрыклы химия бар.

Ярымүткәргеч эшкәртүдә электрон водород хлоридының төп кулланмалары:

1. faceир өстен чистарту һәм әзерләү

Эффектив өслекне чистартучы, электрон классводород хлоридэпитаксиаль катламның яки ​​пленканың сыйфатын һәм чисталыгын тәэмин итү өчен субстрат өслегеннән оксидларны һәм пычракларны чыгару өчен кулланыла.

2. Эпитаксиаль үсеш ярдәме

Эпитаксиаль процесста өслек белән эшкәртү агенты буларак кулланыла, ул эпитаксиаль катламның сыйфатын яхшыртырга, такталарның туры килүен яхшыртырга һәм такталар җитешсезлекләрен формалаштырырга ярдәм итә.

3. Субстрат алдан әйтү

Ярымүткәргеч җайланмалар әзерләгәнче, электрон классводород хлоридэпитаксиаль катлам белән субстрат арасындагы ябышуны яхшырту өчен тотрыклы нигез формалаштыру өчен субстрат өслеген дәвалау өчен кулланылырга мөмкин.

4. Ярдәмче агент

Химик парларны чүпләү (CVD) яки физик парларны чүпләү процессында, электрон үткәргеч водород хлорид ярымүткәргеч материалларның чүпләнү реакциясендә катнашу өчен газ фазасын күчерү чарасы буларак кулланылырга мөмкин.

5. Газ-фазалы күчерү агенты

Газ-фазалы күчерү агенты буларак, реакция газына башка газлы прекурсорлар кертелә, материалның чүпләнү тизлеген һәм бердәмлеген көйләргә булыша.

Бу үзенчәлекләр электрон дәрәҗә ясыйларводород хлоридярымүткәргеч технологиясендә мөһим эшкәртү агенты, ул соңгы җайланманың эшләвенә һәм ышанычлылыгына төп йогынты ясый.

Ярымүткәргеч эшкәртүдә куллануга өстәп, электрон водород хлорид башка өлкәләрдә дә төрле кулланыш таба ала, шул исәптән: югары чисталык материалларын әзерләү, ягулык күзәнәкләре, ярымүткәргеч материал үсеше, пар фазасы литографиясе, материал анализы, химик тикшеренүләр.

Гомумән, электрон классводород хлоридярымүткәргеч җитештерүдән тыш күп төрле кушымталарга ия булган күпкырлы, югары чисталык газы.