Водород хлоридтонык исле төссез газ. Аның шикелле чишелеше гидрохлор кислотасы дип атала, шулай ук ​​гидрохлор кислотасы дип тә атала. Водород хлориды суда бик эри. 0 ° C, 1 том суы якынча 500 тавыш водород хлоридын тарката ала.

Аның түбәндәге үзенчәлекләре һәм характеристикалары бар:

1. Highгары чисталык

Электрон классның чисталыгыводород хлоридБик югары, гадәттә PPM яки түбән дәрәҗәдә, ярымүткәргеч җитештерү процессына пычраклар кертелмәгән.

2. Инерт

Бу башка матдәләр белән реакция ясамаган химик инерт газы, бу ярымүткәргеч материалларның һәм җиһазларны пычратуны булдырмас өчен бик мөһим.

3. Югары тотрыклылык

Электрон классводород хлоридГадәттә ышанычлы ярымүткәргеч эшкәртүне тәэмин итү өчен тотрыклы химия бар.

Ярымүткәргеч эшкәртүдә, электрон класс водород хлоридының төп гаризалары:

1. Surfaceир өстендә чистарту һәм әзерләү

Эффектив өслек чистартучы буларак, электрон классводород хлоридэпитаксиаль катламының яки ​​фильмның сыйфатын һәм сафлыгын тәэмин итү өчен субстрат өслегеннән оксидлардан һәм пычракларны чыгару өчен кулланыла.

2.Pitaxial үсеш ярдәме

EPISAxial процессында өслек дәвалау агенты буларак кулланыла, бу эпитаксиаль катламның сыйфатын яхшыртырга ярдәм итә, такталар белән туры килеп, такталар кимүен киметү.

3. Субстрат үзгәреше

Ярымүткәргеч җайланмалар әзерләгәнче, электрон классводород хлоридсубстрат өслеген тотрыклы база ясау өчен, эпитаксиаль катламы һәм субстратны яхшырту өчен тотрыклы база формалаштыру өчен кулланылырга мөмкин.

4. Ишексез агент

Химик парлар (CVD) яки физик парлау процессында (PVD), электрон класс водород хлориды ярымүткәргеч материалларның чүп-чар реакциясен катнашу өчен кулланылырга мөмкин.

5. Газ-Фаза тапшыру агенты

Газ-этап тапшыру агенты буларак, башка газны тапшыру агенты буларак, башка бик мөһим проворматик реакция палатасына кертеләчәк, материалларның бердәмлеген һәм материалның бердәмлеген көйләргә булышалар.

Бу характеристика электрон класс ясыйларводород хлоридСоңгы җайланманың чыгышына һәм ышанычлылыгына төп йогынты ясаучы ярымүткәргеч технологиясенә мөһим эшкәртү агенты.

Ярымуар эшкәртүгә өстәп, электрон класс водород хлориды башка өлкәләрдә, шул исәптән: "Ягулык күзәнәкләре, ярымүткәргечләр" әзерләү, пар-фаза.

Гомумән, электрон классводород хлоридВигъ булмаган, югары чисталык газы, ярымүткәргеч җитештерүдән читтә булган кушымталар бар.