Водород хлоридыкискен исле төссез газ. Аның судагы эремәсе тоз кислотасы дип атала, ул шулай ук ​​тоз кислотасы дип тә атала. Водород хлориды суда бик эри. 0°C температурада 1 күләм су якынча 500 күләм водород хлоридын эретә ала.

Аның түбәндәге үзенчәлекләре һәм үзенчәлекләре бар:

1. Югары сафлык

Электрон классның сафлыгыводород хлоридыярымүткәргеч җитештерү процессына бернинди катнашмалар кертелмәвен тәэмин итү өчен, гадәттә ppm яки аннан да түбәнрәк дәрәҗәдә, бик югары.

2. Инертлык

Бу химик яктан инерт газ, ул башка күп матдәләр белән реакциягә керми, бу ярымүткәргеч материаллар һәм җиһазларның пычрануын булдырмау өчен бик мөһим.

3. Югары тотрыклылык

Электрон бәяләүводород хлоридыгадәттә, ышанычлы ярымүткәргеч эшкәртүне тәэмин итү өчен тотрыклы химиягә ия.

Ярымүткәргеч эшкәртүдә электрон класслы водород хлоридының төп кулланылышлары түбәндәгеләрне үз эченә ала:

1. Өслекне чистарту һәм әзерләү

Нәтиҗәле өслек чистарту чарасы буларак, электрон класслыводород хлоридыэпитаксиаль катлам яки пленканың сыйфатын һәм сафлыгын тәэмин итү өчен субстрат өслегеннән оксидларны һәм катнашмаларны бетерү өчен кулланыла.

2. Эпитаксиаль үсеш ярдәме

Эпитаксиаль процесста өслек эшкәртү агенты буларак кулланылганда, ул эпитаксиаль катламның сыйфатын яхшыртырга, челтәр туры килүен яхшыртырга һәм челтәр кимчелекләре барлыкка килүен киметергә ярдәм итә.

3. Субстратны алдан эшкәртү

Ярымүткәргеч җайланмаларны әзерләү алдыннан, электрон сортводород хлоридыэпитаксиаль катлам һәм субстрат арасындагы адгезияне яхшырту өчен тотрыклы нигез формалаштыру максатыннан субстрат өслеген эшкәртү өчен кулланылырга мөмкин.

4. Чөкмә ярдәмче агент

Химик пар утырту (CVD) яки физик пар утырту (PVD) процессында, электрон класслы водород хлориды ярымүткәргеч материалларның утырту реакциясендә катнашу өчен газ фазасын күчерү мохите буларак кулланылырга мөмкин.

5. Газ фазасын күчерүче агент

Газ фазасын күчерү агенты буларак, материалның утыру тизлеген һәм тигезлеген көйләү өчен реакция камерасына башка газсыман прекурсорлар кертелә.

Бу үзенчәлекләр электрон классны билгеливодород хлоридыярымүткәргеч технологиясендә мөһим эшкәртү агенты, ул соңгы җайланманың эшчәнлегенә һәм ышанычлылыгына төп йогынты ясый.

Ярымүткәргечләрне эшкәртүдә кулланудан тыш, электрон класслы водород хлориды башка өлкәләрдә дә төрле кулланылыш таба ала, шул исәптән: югары сафлыклы материаллар әзерләү, ягулык элементлары, ярымүткәргеч материаллар үстерү, пар фазасы литографиясе, материал анализы, химик тикшеренүләр.

Гомумән алганда, электрон классводород хлоридыярымүткәргечләр җитештерүдән тыш киң кулланылышлы, күпкырлы, югары сафлыклы газ.