Эпитаксиаль (үсеш)Катнаш Гаs

Ярымүткәргеч тармагында, бер яки берничә катлам материалны химик пар парламенты белән җентекләп сайланган субстратта үстерү өчен кулланылган газ эпитаксиаль газ дип атала.

Гадәттә кулланыла торган кремний эпитаксиаль газларга дихлоросилан, кремний тетрахлорид һәмсилан. Нигездә эпитаксиаль кремний чүплеге, кремний оксиды пленкасы, кремний нитрид пленкасы, кояш күзәнәкләре һәм башка фоторепортажлар өчен аморфик кремний пленкасы һ.б. кулланыла. Эпитакси - бер кристалл материал субстрат өслегендә урнаштырылган һәм үскән процесс.

Химик пар парламенты (CVD) катнаш газ

CVD - кайбер элементларны һәм кушылмаларны газ фазасы химик реакцияләре белән үзгәрүчән кушылмалар кулланып, ягъни газ фазасы химик реакцияләрен кулланып кино формалаштыру ысулы. Формалашкан фильм төренә карап, кулланылган химик пар парламенты (CVD) газы да төрле.

ДопингКатнаш газ

Ярымүткәргеч җайланмалар һәм интеграль схемалар җитештергәндә, кайбер пычраклар ярымүткәргеч материалларга кертелә, материалларга кирәкле үткәрүчәнлек төре һәм резисторлар, PN тоташулары, күмелгән катламнар һ.б. җитештерү өчен билгеле бер каршылык бирү өчен, допинг процессында кулланылган газ допинг газы дип атала.

Нигездә арсин, фосфин, фосфор трифлорид, фосфор пентафлорид, арсен трифлорид, арсен пентафлорид,бор трифлорид, диборан һ.б.

Гадәттә, допинг чыганагы чыганак шкафында ташучы газ (аргон һәм азот кебек) белән кушыла. Катнашканнан соң, газ агымы диффузия миченә өзлексез кертелә һәм вафинны әйләндереп ала, допантларны вафин өслегенә куя, аннары кремний белән реакция ясап, кремнийга күчә торган металллар барлыкка килә.

ЭшләүГаз катнашмасы

Эшләү - эшкәртү өслеген (металл пленка, кремний оксиды пленкасы һ.б.) субстратта фоторезист маскасысыз чыгару, шул ук вакытта фоторезист маскасы белән мәйданны саклап калу, субстрат өслегендә кирәкле сурәтләү үрнәген алу.

Чистарту ысулларына дымлы химик чистарту һәм коры химик чистарту керә. Коры химик эшкәртүдә кулланылган газ эфир газы дип атала.

Газны чыгару гадәттә фторлы газ (галид) кебекуглерод тетрафлуорид, азот трифлорид, трифлорометан, гексафлуоретан, парфлюоропропан һ.б.