Бор трихлорид (BCl3)ярымүткәргеч җитештерүдә коры эфирда һәм химик пар парламенты (CVD) процессларында гадәттә кулланыла торган органик булмаган кушылма. Бу бүлмә температурасында көчле исле төссез газ, дымлы һавага сизгер, чөнки ул гидрохлор кислотасы һәм бор кислотасы җитештерә.

Бор Трихлорид кушымталары

Ярымүткәргеч тармагында,Бор трихлориднигездә алюминийның коры эфиры өчен һәм кремний вафаларда P тибындагы төбәкләрне формалаштыру өчен кулланыла. Бу шулай ук ​​GaAs, Si, AlN кебек материалларны чыгару өчен, һәм кайбер махсус кушымталарда бор чыганагы буларак кулланылырга мөмкин. Моннан тыш, Бор трихлориды металл эшкәртүдә, пыяла сәнәгатендә, химик анализда һәм лаборатория тикшеренүләрендә киң кулланыла.

Бор Трихлорид куркынычсызлыгы

Бор трихлоридкоррозицион һәм агулы, күзгә һәм тирегә зур зыян китерергә мөмкин. Ул агулы водород хлорид газын чыгару өчен дымлы һавада гидролизлый. Шуңа күрә эшләгәндә тиешле куркынычсызлык чаралары күрергә кирәкБор трихлорид, шул исәптән саклагыч кием, күзлек һәм сулышны саклау җиһазлары киеп, яхшы җилләтелгән мохиттә эшләү.